往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,igx100mti半导体真空泵维修,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式: 油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙。
真空系统常用名称主泵:在真空系统中,igx100mti半导体真空泵,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
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