泉州节能微油螺杆真空泵批发-厦门太星机电_厦门暂无

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二、操作原理实验室供气有二级减压和多级减压二级减压阀即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的，实验室一般采用二级减压，这样可以---气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果()多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压阀的目的，减压效果通二级减压效果差不多。但是成本会更高。

3.大宗特气供气系统

---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等)，100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3)，发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---，采用---的工艺制程设备，用气需求量大，节能微油螺杆真空泵批发，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

高纯供气系统功能：

可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空;多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。

高纯供气系统设计

1.材料的选择

特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管。

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