溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵按其真空度可以分为:粗真空、高真空、真空三大类。粗真空系主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。
参数名称参数定义真空泵的---压强泵的---压强单位是pa,是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,并按规定条件工作时。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速,但不能抽---,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)。
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