厦门太星机电生产批发-莆田igx100n半导体真空泵

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    2023-7-20

黄经理
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扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。

在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。






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扩散泵的缺点是返油问题,加上挡油帽和冷阱及正确操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究,现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施,使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源:泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计,可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽,它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置,由于不断对冷帽结构的改进,使主要返流---降低。



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锅炉内泵油的不稳定沸腾,会使喷出的蒸汽射流的密度波动,从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热,使之有一段爆沸的时间,其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉,增加内表面积,莆田igx100n半导体真空泵,降低热流密度,增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中,强力的爆沸,会引起---升腾,对喷咀,引起瞬间堵塞,造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响,因对轻气体压缩比低,可引起压力的不稳定,igx100n半导体真空泵维修,增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器,可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续,导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降,不使其过冷。来自橡胶密封的气泡,有时油捕集气体,通过密封胶圈渗透放出,因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出,可使不稳定减少,若用金属垫圈就---了。设计---的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时,操作不当,扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范,定期检查泵油的质和量。





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