现场的管理人员要做好材料的检查记录和每天的施工检查记录,包括管工弯管的,尺寸是否准确,igx100l半导体真空泵维修,管道是否有划伤,弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道,igx100l半导体真空泵维修,预制好的管道,管口是不是封好;(管道封口应套上管帽,再采用ep管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽,则采用套一层内包装袋用胶带封好,然后外面再套一层,也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合要求,每个焊缝都必须仔细检查,并作好焊接作业者和焊接数量记录。
气体控制设备-泄压装置-阀门-管道-过滤器-报警装置-接线盒-调节阀等
实验室气路安装系统主要由气体控制设备、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、终端阀门控制箱等组成。
3.大宗特气供气系统 ---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),igx100l半导体真空泵,100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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