igx100n半导体真空泵-厦门太星机电生产批发

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    2023-5-31

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扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为---真空镀膜机的正常稳定运行,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。





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锅炉内泵油的不稳定沸腾,会使喷出的蒸汽射流的密度波动,从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热,使之有一段爆沸的时间,其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉,增加内表面积,降低热流密度,增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中,强力的爆沸,会引起---升腾,igx100n半导体真空泵维修,对喷咀,igx100n半导体真空泵,引起瞬间堵塞,造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响,因对轻气体压缩比低,可引起压力的不稳定,增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器,可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续,导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降,不使其过冷。来自橡胶密封的气泡,有时油捕集气体,通过密封胶圈渗透放出,因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出,可使不稳定减少,若用金属垫圈就---了。设计---的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时,操作不当,扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范,igx100n半导体真空泵维修,定期检查泵油的质和量。





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扩散泵的缺点是返油问题,加上挡油帽和冷阱及正确操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究,igx100n半导体真空泵维修,现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施,使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源:泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计,可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽,它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置,由于不断对冷帽结构的改进,使主要返流---降低。



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