镀膜机真空检漏-真空检漏-厦门太星机电供应批发

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    2022-6-14

黄经理
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扩散泵中的油在加热到沸腾温度(约为200度)后产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强,被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中,真空检漏,随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来,linac 泄漏测试真空检漏,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩,由前级泵抽走,而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的。





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扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:来自橡胶垫圈的气泡;从障板上滴落下的泵油;高的前级耐压;阱除霜;阱内冷冻层的。泵内的原因有:泵油爆沸或沸腾不稳定;在导流管外部油的沸腾;轻气体的低压缩比;喷咀内的液滴;顶喷咀变冷(蒸汽冷凝);锅炉附近泄漏,泵体要检漏。





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由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子,大部分由泵壁冷凝,这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射,散射会返回被抽空间,这种现象在低温实验室中要---注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板,这样就能使返加的蒸气被冷凝下来,截止了油蒸气的返流。

影响油扩散泵性能的因素如下。





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